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Sirius MC313

离子注入机

Sirius MC313 离子注入机

Sirius MC313 Implanter

Sirius MC313 离子注入机主要用于12英寸Si IC领域的掺杂工艺。该机台为单腔室单片式离子注入机，主要由高压仓？，光路？，靶室？楹透绞羯璞傅茸槌。

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